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　　本标准代替***/T7265-1994《蒸汽流真空泵》。

本标准与***/T7265-1994相比，主要变化如下：

——扩散泵按进气口公称通径增加了七种规格（单位为mm）：（150）、250、（300）、500、（600）、（900）、（1200）；

——扩散喷射泵按进气口公称通径增加了五种规格（单位mm）（150），250，（300），500，（600）；

——提高了抽气速率、极限压力、临界前级压力等一些主要性能指标，对其他性能指标做了适当的调整；

——增加了扩散泵的泵液返流率指标；

——增加了附录A、附录B。

本标准的附录A为资料性附录、附录B为规范性附录。

本标准由中国机械工业联合会提出。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/***18）归口。

本标准起草单位：兰州真空设备有限责任公司、真空技术研究所。

本标准主要起草人：徐玉江、温发兰、许艳巧、李春影。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为：

——ZB J78 012.1～J78 012.2-1989，***/T7265-1994。

前言

1　范围

2　规范性引用文件

3　型式

4　规格与基本参数

　4.1　规格

　4.2　基本参数

5　技术要求

6　试验方法与检验规则

7　标志、包装、运输和贮存

附录A　（资料性附录）带括号规格泵的进、出气口法兰连接尺寸

附录B　（资料性附录）极限压力的测定

　B.1　测试装置

　B.2　测试程序

图A.1　法兰形式

表1　扩散泵基本参数

表2　扩散喷射泵基本参数

表A.1　法兰连接尺寸

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