MEMS光纤声压传感器技术 科学出版社 mobi 下载 网盘 caj lrf pdf txt 阿里云

本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。

本书可供光纤传感领域科研人员和工程技术人员参考，也可作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的参考书。

前言

1 绪论

1.1 MEMS光纤声压传感技术简介

1.2 MEMS光纤声压传感器领域现存主要问题

1.3 本书主要内容

2 MEMS光纤声压传感器光学原理分析

2.1 F-P干涉仪基本原理

2.1.1 标准F-P腔的干涉谱分析

2.1.2 光纤F-P腔的干涉谱分析

2.2 光束传输损耗模型分析

2.2.1 间隔损耗理论分析

2.2.2 倾斜、错位损耗理论分析

2.2.3 传输损耗对干涉条纹的影响

2.3 MEMS光纤声压传感器解调技术

2.3.1 强度解调

2.3.2 相位解调

2.4 本章小结

3 MEMS光纤声压传感器力学原理分析

3.1 膜片振动性能分析

3.1.1 自由振动的解

3.1.2 受迫振动的解

3.1.3 特殊情形的解

3.2 MEMS光纤声压传感器的等效电路模型

3.2.1 电-力-声线路类比

3.2.2 声学元件阻抗表达式

3.3 MEMS光纤声压传感器的声学性能仿真

3.3.1 膜片半径对传感器性能的影响

3.3.2 膜片厚度对传感器性能的影响

3.3.3 腔体体积对传感器性能的影响

3.3.4 膜片内应力对传感器性能的影响

3.3.5 连通孔尺寸对传感器性能的影响

3.3.6 空气腔对水听器的增敏作用研究

3.3.7 常见膜片材料对传感器性能的影响

3.4 本章小结

4 MEMS光纤声压传感器膜片加工技术

4.1 声压敏感膜片材料研究现状

4.1.1 硅基材料

4.1.2 金属材料

4.1.3 二维材料

4.1.4 材料

4.2 声压敏感膜片结构研究现状

4.2.1 凸台结构

4.2.2 纹膜结构

4.3 声压敏感膜片加工技术研究

4.3.1 金属平膜膜片加工

4.3.2 金属纹膜膜片加工

4.3.3 PET纹膜膜片加工

4.4 本章小结

5 MEMS光纤声压传感器结构设计与加工

5.1 F-P腔结构研究现状

5.1.1 同轴型结构

5.1.2 垂直轴型结构

5.2 MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.1 同轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.2 垂直轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.3 MEMS光纤水听器结构设计与加工

5.3.1 MEMS光纤水听器研究现状

5.3.2 MEMS光纤水听器结构设计及加工步骤

5.3.3 MEMS光纤水听器加工结果

5.4 本章小结

6 MEMS光纤声压传感器性能测试

6.1 声学实验测试原理、系统及方法简介

6.1.1 光纤声压传感器***解调系统

6.1.2 声学实验测试装置

6.1.3 光纤声压传感器测量参数简介

6.2 MEMS光纤麦克风声学性能测试

6.2.1 同轴型平膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.2 同轴型纹膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.4 垂直轴型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.3 MEMS光纤水听器声学性能测试

6.3.1 水腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.2 空气腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.3 PET纹膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.4 银膜片MEMS光纤水听器声学性能测试结果

*** 本章小结

7 总结

参考文献

索引

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