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内容简介:
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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好是好,要是能免费下就好了
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很好,能找到很多平常找不到的书。
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为什么许多书都找不到?
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好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好好
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听说内置一千多万的书籍,不知道真假的
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挺好的,不错
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非常好就是加载有点儿慢。
- 网友 权***波:
收费就是好,还可以多种搜索,实在不行直接留言,24小时没发到你邮箱自动退款的!
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书籍真实打分
故事情节:3分
人物塑造:9分
主题深度:6分
文字风格:4分
语言运用:5分
文笔流畅:3分
思想传递:8分
知识深度:3分
知识广度:8分
实用性:6分
章节划分:7分
结构布局:9分
新颖与独特:4分
情感共鸣:8分
引人入胜:4分
现实相关:7分
沉浸感:9分
事实准确性:3分
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