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内容简介:
《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著,内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上,涵盖了全面又丰富的内容;在论述光刻技术的物理机制和数学模型时,采用了完整而不繁琐的方法,增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后,还专门开辟章节,介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点,揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点,它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
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书籍介绍
《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著,内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上,涵盖了全面又丰富的内容;在论述光刻技术的物理机制和数学模型时,采用了完整而不繁琐的方法,增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后,还专门开辟章节,介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点,揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点,它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
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书籍多样性:4分
书籍信息完全性:3分
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书籍清晰度:4分
书籍格式兼容性:7分
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书籍真实打分
故事情节:6分
人物塑造:4分
主题深度:5分
文字风格:4分
语言运用:3分
文笔流畅:4分
思想传递:6分
知识深度:3分
知识广度:7分
实用性:8分
章节划分:6分
结构布局:9分
新颖与独特:4分
情感共鸣:5分
引人入胜:7分
现实相关:5分
沉浸感:3分
事实准确性:6分
文化贡献:6分