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荷花书海 -音乐 -微光机电系统MOEMS光机电一体化技术丛书060125【正版图书 无忧售后】

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微光机电系统MOEMS光机电一体化技术丛书060125【正版图书 无忧售后】书籍详细信息

  • I***N：9787111192664
  • 作者：暂无作者
  • 出版社：暂无出版社
  • 出版时间：2006-08
  • 页数：暂无页数
  • 价格：418.66
  • 纸张：胶版纸
  • 装帧：平装
  • 开本：16开
  • 语言：未知
  • 丛书：暂无丛书
  • TAG：暂无
  • 豆瓣评分：暂无豆瓣评分
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内容简介：

本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical?System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微***技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。

??

??

??本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。

书籍目录：

丛书序

前言

第1章??微光机电系统概述

??1.1??微光机电系统的定义与历史

??1.2??MOEMS的应用和市场前景

??1.3??与MOEMS相关的资讯

??参考文献

第2章??MOEMS的设计与仿真

??2.1??微型化带来的“特殊”理论问题

??2.2??MOEMS的设计过程

??2.3??MOEMS的仿真及其软件

??2.4??MOEMS?CAD软件

??参考文献

第3章??典型的微结构***工艺

??3.1??微电子工艺概述

??3.2??表面工艺

??3.3??体硅工艺

??3.4??LIGA工艺

??3.5??微***工艺小结

??参考文献

第4章??MOEMS器件

??4.1??MOEMS器件的敏感原理和执行方式

??4.2??微力学器件

??4.3??RF微器件

??4.4??微光学器件

??4.5??微流体器件

??4.6??其他微传感器

??参考文献

第5章??微系统集成

??5.1??微封装技术

??5.2??微系统集成应用实例

??参考文献

作者介绍：

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  • 语言运用：4分

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  • 思想传递：9分

  • 知识深度：4分

  • 知识广度：7分

  • 实用性：6分

  • 章节划分：9分

  • 结构布局：4分

  • 新颖与独特：9分

  • 情感共鸣：6分

  • 引人入胜：6分

  • 现实相关：5分

  • 沉浸感：5分

  • 事实准确性：5分

  • 文化贡献：9分

网站评分

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出版社：暂无出版社
出版日期：2006-08
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