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光学光刻和极紫外光刻书籍详细信息

  • I***N：9787547857205
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  • 页数：344
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内容简介：

《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

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其它内容：

书籍介绍

《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

书籍真实打分

  • 故事情节：3分

  • 人物塑造：9分

  • 主题深度：4分

  • 文字风格：8分

  • 语言运用：6分

  • 文笔流畅：4分

  • 思想传递：9分

  • 知识深度：5分

  • 知识广度：5分

  • 实用性：4分

  • 章节划分：6分

  • 结构布局：4分

  • 新颖与独特：9分

  • 情感共鸣：6分

  • 引人入胜：6分

  • 现实相关：4分

  • 沉浸感：6分

  • 事实准确性：6分

  • 文化贡献：6分

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I***N：9787547857205
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