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从表面化学分析的性质、内容和特点出发，论述以一定能量的粒子（光子、电子和离子）以及（电、力）场与物质相互作用的机理产生的各种谱学的基本原理、装置和技术、谱图分析以及应用举例。重点在基础知识的讲解，并引入定量表面分析中的计算和模拟理论。本书主要用作化学、化工专业研究生专业基础教材，也可供从事表现物理、化学分析及材料研究工作者阅读。

第1章 绪论

1.1 表面的重要性

1.2 表现特性

1.3 表现科学与表现分析

1.4 表现分析技术

思考题

参考文献

第2章 电子能谱学

2.1 基本原理

2.2 结合能的实验测定

2.3 表现化学位移

2.4 金属原子簇

2.5 荷电效应及其补偿

2.6 反向光电子能谱

思考题

参考文献

第3章 电子能谱仪的结构与实验技术

3.1 电子能谱仪结构框图

3.2 激发源

3.3 能量分析器

3.4 检测器系统

3.5 真空系统

3.6 实验技术

3.7 计算机收谱及数据处理

3.8 XPS实验报告

3.9 电子能谱仪的进展

思考题

参考文献

第4章 XPS谱图分析

4.1 终态效应及电子谱线的伴线结构

4.2 化学位移与化学态

4.3 固体表现能谱

思考题

参考文献

第5章 XPS的定性、定量分析

5.1 定性分析

5.2 定量分析

思考题

参考文献

第6章 XPS的应用

6.1 XPS的常规应用

6.2 XPS的特殊用途

思考题

参考文献

第7章 XPS在半导体材料、表现薄膜和微电子器件中的应用

7.1 前言

7.2 XPS检测半导体表现污染

7.3 角解析XPS（ARXPS或可变极角XPS）的应用

……

第8章 紫外光电子能谱和XPS价带谱

第9章 俄歇电子能谱

第10章 定量表面分析中的计算与模拟

第11章 二次离子质谱

第12章 离子散射谱

第13章 超高真空扫描隧道微学

第14章 扫描力显微学

附录1 表面化学分析和国际标准化工作

附录2 表面结构的命名

附录3 高聚物Cls化学位移表

主要索引

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书籍介绍

《材料科学与工程研究生教学用书·表面化学分析》从表面化学分析的性质、内容和特点出发，论述以一定能量的粒子（光子、电子和离子）以及（电、力）场与物质相互作用的机理产生的各种谱学的基本原理、装置和技术、谱图分析以及应用举例。重点在基础知识的讲解，并引入定量表面分析中的计算和模拟理论。《材料科学与工程研究生教学用书·表面化学分析》主要用作化学、化工专业研究生专业基础教材，也可供从事表现物理、化学分析及材料研究工作者阅读。